正航儀器介紹整理氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置期間核查方法

氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)是校準(zhǔn)氣體微流量的一種裝置，是真空計(jì)量的基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)之一，用于參考漏孔及氣體微流量計(jì)的校準(zhǔn)。對(duì)氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置采用多臺(tái)平均值法進(jìn)行期間核查。

多臺(tái)平均值法采用3 臺(tái)或3 臺(tái)以上同等水平的測量標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)同一被測量或被測測量器具進(jìn)行測量，多臺(tái)測量結(jié)果的平均值yi 與核查的測量標(biāo)準(zhǔn)觀測值y 之差的值，應(yīng)滿足式（2）

式中yi 為多臺(tái)測量標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)結(jié)果的平均值；n 為測量標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)量。

作者實(shí)驗(yàn)室已建立的氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置有恒壓式氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置2 臺(tái)，定容式氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置1 臺(tái)，恒壓/定容式氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置1臺(tái)。

對(duì)其中1 臺(tái)恒壓式氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置進(jìn)行期間核查，選用其他3 臺(tái)流量計(jì)作為核查標(biāo)準(zhǔn)；傳遞標(biāo)準(zhǔn)選用中國計(jì)量院生產(chǎn)的薄膜滲氦型真空漏孔，其標(biāo)稱漏率值為1.34×10-8 Pa·m3/s。

在每臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)裝置上對(duì)傳遞標(biāo)準(zhǔn)漏孔均校準(zhǔn)6次，并計(jì)算出平均漏率值，溫度為23℃。校準(zhǔn)數(shù)據(jù)見表3。

表3 氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置漏率校準(zhǔn)值

表3 中，3 臺(tái)核查標(biāo)準(zhǔn)的漏率值分別為1.33×10-8 Pa·m3/s 、1.39×10-8 Pa·m3/s 和1.34×10-8 Pa·m3/s，平均值為1.35×10-8 Pa·m3/s，被核查標(biāo)準(zhǔn)的漏值為1.28×10-8 Pa·m3/s，根據(jù)式（2）計(jì)算二者的偏差為5.2%。恒壓式氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置的擴(kuò)展不確定為10%，代入式（2）得8.2%。

二者的偏差5.2%，小于8.2%，則恒壓式氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)裝置技術(shù)狀態(tài)正常。